华流仪表

微小型热式气体质量流量计

微小型热式气体质量流量计
质量式流量计

微小型热式气体质量流量计

微小流量气体质量测量,适用于实验室与精密加气场合。

公称口径
DN3、DN6、DN8、DN10
适用介质
各种气体(乙炔气和混合气体除外)
流量范围
DN3:30-300ml/min;DN6:50-1000ml/min;DN8:100-2000ml/min;DN10:200-4000ml/min(介质为空气,标准状态20℃、101.325kPa,量程可扩展)
产品特点
  • 微小流量测量
  • 响应快、灵敏度高
  • 结构紧凑
ISO 三体系 隔爆/本安 SIL2 认证 CE 认证 计量器具型式批准

产品概述

华流微小型热式气体质量流量计采用矽微机械加工(MEMS)技术的热式流量传感器,专为微小、小流量气体的精密测量与控制而设计,可实现ml/min级微流量测控的数字化。产品广泛应用于轻工、化工、环保及半导体等行业,适用于空气、氧气、氩气、氮气等多种气体的检测与控制,是浮子流量计、孔板流量计等传统流量计的理想升级替代产品。

该产品基于热式质量测量原理,直接测量气体质量流量,无需温度、压力补偿。整机集瞬时流量显示、累计流量显示与信号输出于一体,具有可靠性高、重复性好、压力损失小、无可动部件、量程比宽、响应快、测量精度高等特点,并具备零点自校、多种气体实际标定与全量程补偿功能,计量准确稳定。

华流微小型热式气体质量流量计支持4-20mA与RS485通讯输出,可配合上位机实现网络化集中管理,并提供流量报警等监控功能。规格齐全、量程范围宽,可根据用户需求单独标定,广泛服务于科研院所、分析仪表、半导体、光伏、玻璃镀膜及石油化工等领域的微小气体流量测控需求。

技术参数

公称口径DN3、DN6、DN8、DN10
适用介质各种气体(乙炔气和混合气体除外)
流量范围DN3:30-300ml/min;DN6:50-1000ml/min;DN8:100-2000ml/min;DN10:200-4000ml/min(介质为空气,标准状态20℃、101.325kPa,量程可扩展)
最大允许误差±1.5%FS
工作温度0-55℃
环境温度0-55℃
工作压力0.3MPa、0.6MPa、1.0MPa
供电电源24VDC
输出信号4-20mA、RS485通讯
显示位数瞬时流量3位、累积流量10位
连接形式快速接头、法兰式
探头类型普通、Swagelok、用户指定
材质304不锈钢、316不锈钢、316L不锈钢、铝等
结构形式质量流量计(M)、质量流量控制器(C)

应用场景

实验室气体计量
精密加气/配气

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